水噴淋處理段：利用水或其他的液體來分散氣體中的粉塵或廢氣顆粒，使帶有粉塵的氣體得到過濾凈化分離，其特點是在凈化粉塵的同時，可以起到避免設備、粉塵爆炸的特點。

        UV光解處理段：UV光解/光氧設備采用短波高能紫外線，對有機惡臭氣體進行分解。其主要原理是利用中短波紫外線光子所攜帶的能量較強，通過紫外線的光子轟擊有機物的分子鏈，實現(xiàn)分子鏈的斷裂，斷裂的有機物成分與氧氣、臭氧等反應，生成產物為CO₂和H₂O等無害物質。設備風阻小、凈化效率高，是生活和工業(yè)領域廣泛應用的凈化設備。

        活性炭吸附段：廢氣經過吸附塔內的初效過濾器除去固體顆粒物后，進入塔體，經過活性炭層吸附后，除去氣體中的有機廢氣分子，達到符合排放標準的凈化氣體，經風機高空排放。在VOCs回收利用的工藝中，活性炭吸附設備作為吸附劑，可循環(huán)利用，當活性炭吸附設備吸附飽和后，用氮氣或其他惰性氣體將被吸附的VOCs脫附，脫附后的混合氣體用冷凝或氣-液吸收技術進行處理。